電子特氣管道系統(tǒng)，簡(jiǎn)稱特氣系統(tǒng)由存儲(chǔ)、輸送、分配、控制四類組成，其中“存儲(chǔ)”是指氣源部分（特氣柜GC），“輸送”指配管方面（一般用雙套管），“分配”指二次配部分（氣體分配柜VMB），“控制”指監(jiān)督控制部分（氣體管理系統(tǒng)GMS）。是一種廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光纖、太陽(yáng)能電池等微電子行業(yè)的氣路系統(tǒng)。

特種氣體系統(tǒng)的GC特氣柜/GR特氣架的設(shè)置須符合下列規(guī)定:

1. 氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶?jī)?nèi)置吹掃氣源等多種結(jié)構(gòu)配置；

2. 不相容氣體瓶不應(yīng)放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；

3. 氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置作業(yè)用氣體面板；

4. 系統(tǒng)的供應(yīng)能力應(yīng)經(jīng)過(guò)熱力學(xué)和流體力學(xué)計(jì)算核實(shí)；

5. 氣瓶柜閉門時(shí)應(yīng)保持不低于100Pa負(fù)壓，柜內(nèi)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次/h；

6. 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置固定式氣體泄漏探測(cè)器；

7. 氣瓶柜柜體 外殼鋼板厚度不應(yīng)小于2.5mm， 并應(yīng)有防腐蝕涂層；

8. 氣瓶柜門應(yīng)具備自動(dòng)關(guān)閉功能， 并應(yīng)配備防爆玻璃觀察窗;氣瓶柜的固定螺栓設(shè)計(jì)應(yīng)滿足當(dāng)?shù)氐卣鹪O(shè)防烈度的要求；

9. 氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標(biāo)識(shí)牌；

10. 當(dāng)氣瓶柜放置在有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境時(shí)，其設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。

電子特氣管道工程是一種危險(xiǎn)性很高的工程，是保證有著易燃易爆、腐蝕、劇毒等性質(zhì)的特種氣體的安全穩(wěn)定輸送的氣體供應(yīng)系統(tǒng)，所以，為了用氣安全，在安裝特氣系統(tǒng)時(shí)，要嚴(yán)格遵守其中的一些規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)。

以上，便是關(guān)于特氣系統(tǒng)中特氣柜和特氣架該如何設(shè)置的介紹，感謝您的閱讀！